移相干涉技术在平面度测量中的应用

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移相式数字波面干涉仪是光学加工行业用来检测光学元件表面形貌的有力工具，本文对移相式数字波面干涉仪研制过程中的几个关键技术题目进行了探讨,包括移相值标定技术、移相值计算方法以及相位解包裹技术等。压电晶体PZT校正是数字波面干涉仪研究中的一项重大技术,本文对数字波面干涉仪的绝对校正题目作了一些探讨。同时本文介绍了一种用于计算全息数字波面干涉仪中的自动分析计算全息检测所得干涉图的方法。它采用一系列计算机图像处理技术实现了干涉图条纹数据的准确、实时采集。同时提出了实现波面Zernike多项式拟合的精确算法。该算法不同于传统的直接构造方程和正交化方法，而是变换对矛盾方程的广义增广矩阵进行正交三角化，直接求解拟合系数，它避免了构造法方程组，从而避免了以前的方法因构造的法方程组出现严重病态而引入的计算误差，因而是一种比较理想的实现Zernike多项式拟合的算法。作为一种精密测量手段，移相技术的最大缺陷是它对各种误差源的敏感性，因此分析各种误差对移相测量结果的影响，利用各种方法对不同误差源引起的波前再现误差进行校正一直是移相技术研究领域的研究重点之一。本文提出了通过液面分离光学系统误差的方法以及三面互检消除系统误差的方法。本文采用移相技术,解决了其中移相值标定、相位解调、误差处理中的难点,研制了数字波面干涉仪