Nb/SnO2复合薄膜的制备、结构表征及物性

admin · 发表于 2024-1-24 13:14:22

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雅宝题库解析：
SnO2基透明导电薄膜以接近金属的电导率、高可见光透过率、高红外反射率及半导体特性，广泛地应用于平板显示器件、太阳能光伏电池、热反射镜、气体敏感材料、特殊功能窗口涂层等领域。本文利用无机金属盐SnCl2•H2O和氧化物Nb2O5为主要原料，采用溶胶-凝胶法与匀胶机旋涂技术相结合，成功地制备出Nb/SnO2复合薄膜，利用XRD、SEM、四探针测试仪及紫外-可见分光光度计等测试手段对Nb/SnO2复合薄膜的结构与物性进行了研究。研究结果表明：(1)不同掺杂浓度的Nb/SnO2复合薄膜(500°C热处理)呈现四方相金红石结构，其晶粒尺寸为5~7nm。复合薄膜的晶粒尺寸随着Nb含量的增加先增大再减小；复合薄膜的电阻率随着Nb含量的增加先减小后增大，当Nb含量为0.37at%时，复合薄膜的电阻率达到最低为9.49×10-2Ω•cm，增大膜厚可显著提高其导电性能；当Nb含量小于0.99at%时，复合薄膜的可见光透过率都在90%以上，其光学带隙在3.9~4.1eV之间，当Nb含量达到1.23at%时，复合薄膜可见光透过率明显降低。 (2)不同热处理温度的Nb/SnO2复合薄膜在300°C以下时未结晶，350°C以上出现结晶且呈现四方相金红石结构，晶粒尺寸随着热处理温度的升高而增大，其分布范围为6~7nm；复合薄膜的可见光透过率都在80%以上，其光学带隙在3.8~4.0eV之间；复合薄膜的电阻率随着热处理温度的升高先减少后增大。

Nb/SnO2复合薄膜的制备、结构表征及物性

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